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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » PECVD掉渣问题
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zgfbb

铁虫 (初入文坛)

[交流] PECVD掉渣问题 已有4人参与

本人现利用一台21 inch PECVD镀SiO2，每次镀完膜厚总是有小颗粒附着在膜的表面，不知道有哪些原因造成此种现象的发生。
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1楼 2012-05-08 14:44:38
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khjxy

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这些小颗粒有可能是二氧化硅颗粒，气体在喷淋口提前反应，生成二氧化硅
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3楼2012-05-09 13:06:22
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陈勇跃

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by khjxy at 2012-05-09 13:06:22:
这些小颗粒有可能是二氧化硅颗粒，气体在喷淋口提前反应，生成二氧化硅

那如何去除呢？
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4楼2012-05-09 20:43:25
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kjwu

捐助贵宾 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
先判断颗粒是哪种方式导致：
1）气体在喷淋口提前反应， 可以通过降低反应压力改变；
2）Plasma 关闭时引起， 可以通过分步降低关闭power
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5楼2012-05-24 15:44:56
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