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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zgfbb

铁虫 (初入文坛)


[交流] PECVD掉渣问题 已有4人参与

本人现利用一台21 inch PECVD镀SiO2,每次镀完膜厚总是有小颗粒附着在膜的表面,不知道有哪些原因造成此种现象的发生。
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optimist9105

铁杆木虫 (正式写手)

可以向上否?
2楼2012-05-09 00:16:38
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khjxy

铜虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这些小颗粒有可能是二氧化硅颗粒,气体在喷淋口提前反应,生成二氧化硅
3楼2012-05-09 13:06:22
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陈勇跃

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by khjxy at 2012-05-09 13:06:22:
这些小颗粒有可能是二氧化硅颗粒,气体在喷淋口提前反应,生成二氧化硅

那如何去除呢?
4楼2012-05-09 20:43:25
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kjwu

捐助贵宾 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
先判断颗粒是哪种方式导致:
1)气体在喷淋口提前反应, 可以通过降低反应压力改变;
2)Plasma 关闭时引起, 可以通过分步降低关闭power
5楼2012-05-24 15:44:56
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