| 查看: 422 | 回复: 1 | |||
splendid8178金虫 (正式写手)
|
[求助]
DBD等离子体反应装置沉积薄膜的设计
|
|
在现有的DBD装置（附图）基础上，怎样设计一个密闭的装置，进行大气压下气体放电沉积薄膜，最好能实现辉光放电，使得气体间隙在1-10mm内可调，又能防止电极的侧面放电而降低损耗。 我考虑的问题： 1、如果直接在DBD外部加个密闭的玻璃箱，虽然满足了电极间隙任意可调，但是电极柱状部分，会不会也放电损耗，影响电极寿命；而且气体流量也大，如使用稀有气体，则成本太高。 2、如果能够设计一个以石英玻璃介质为结构的密闭装置，最好了，但是实在不知如何设置。 现在急于试验，没装置，啥都干不成，麻烦各位给点意见和建议，谢谢！  大气压低温等离子体放电装置 |
回复此楼» 本帖@通知
» 猜你喜欢
拟解决的关键科学问题还要不要写
已经有7人回复
-
存款400万可以在学校里躺平吗
已经有20人回复
-
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？
已经有19人回复
-
请教限项目规定
已经有3人回复
-
基金委咋了？2026年的指南还没有出来？
已经有10人回复
-
基金申报
已经有6人回复
-
推荐一本书
已经有13人回复
-
纳米粒子粒径的测量
已经有8人回复
-
疑惑？
已经有5人回复
-
计算机、0854电子信息（085401-058412）调剂
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 一位海归评审专家的小体会
已经有41人回复
- 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？
已经有15人回复
- 聚乙烯醇薄膜的溶解性问题
已经有27人回复
- Western blot 检测胱氨酸谷氨酸转运体蛋白表达
已经有6人回复
- 想做一个 等离子体 发生 装置 询问价格
已经有19人回复
- 【求助/交流】PCR反应体系的配制
已经有11人回复
- 【请教】怎么测试等离子化学气相沉积（PECVD）的氮化硅薄膜内应力？
已经有5人回复
splendid8178
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 597.4
- 散金: 3
- 帖子: 512
- 在线: 191.6小时
- 虫号: 602644
- 注册: 2008-09-14
- 性别: MM
- 专业: 环境污染化学
2楼2012-05-08 10:36:08