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splendid8178金虫 (正式写手)
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DBD等离子体反应装置沉积薄膜的设计
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在现有的DBD装置（附图）基础上，怎样设计一个密闭的装置，进行大气压下气体放电沉积薄膜，最好能实现辉光放电，使得气体间隙在1-10mm内可调，又能防止电极的侧面放电而降低损耗。 我考虑的问题： 1、如果直接在DBD外部加个密闭的玻璃箱，虽然满足了电极间隙任意可调，但是电极柱状部分，会不会也放电损耗，影响电极寿命；而且气体流量也大，如使用稀有气体，则成本太高。 2、如果能够设计一个以石英玻璃介质为结构的密闭装置，最好了，但是实在不知如何设置。 现在急于试验，没装置，啥都干不成，麻烦各位给点意见和建议，谢谢！  大气压低温等离子体放电装置 |
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splendid8178
金虫 (正式写手)
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2楼2012-05-08 10:36:08