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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 离子溅射镀膜
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fcy110918

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 离子溅射镀膜

想在硅片上镀上一层金，然后通过镀膜时间来控制厚度
现在有了ETD-3000离子溅射仪，新买的，不会用。
1.有说是要充入氩气，有的说可以不充，到底应该怎么样？
2.真空度要多低，电流多大，镀金的效果好一点，镀的均匀一点？
3.镀金时，对基底的微纳结构有影响吗，可以保持原来的纳米结构吗？
跪求有经验的虫子能够指点迷津
本人刚开始做实验 菜鸟级别
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1楼 2012-04-25 20:22:13
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