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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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fcy110918

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 离子溅射镀膜

想在硅片上镀上一层金,然后通过镀膜时间来控制厚度
现在有了ETD-3000离子溅射仪,新买的,不会用。
1.有说是要充入氩气,有的说可以不充,到底应该怎么样?
2.真空度要多低,电流多大,镀金的效果好一点,镀的均匀一点?
3.镀金时,对基底的微纳结构有影响吗,可以保持原来的纳米结构吗?
跪求有经验的虫子能够指点迷津
本人刚开始做实验 菜鸟级别
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