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在较大电阻衬底上电沉积薄膜选用什么方法
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
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在较大电阻衬底上电沉积薄膜选用什么方法
衬底电阻很大,文献中用的是恒电位方法,试过之后不太合适,就改为恒电流,我现在选的是多电流阶跃这个方法,但是存在一个问题,就是膜的厚度不够,沉积时间过长了之后膜的质量也不好,所以想看看有没有什么其他合适的方法,还有就是具体的参数如何设置,望高手指教,谢啦
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