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新虫 (小有名气)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 在较大电阻衬底上电沉积薄膜选用什么方法

衬底电阻很大，文献中用的是恒电位方法，试过之后不太合适，就改为恒电流，我现在选的是多电流阶跃这个方法，但是存在一个问题，就是膜的厚度不够，沉积时间过长了之后膜的质量也不好，所以想看看有没有什么其他合适的方法，还有就是具体的参数如何设置，望高手指教，谢啦

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1楼 2012-04-25 11:33:35

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2楼2012-04-25 20:49:28

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3楼2012-04-25 20:50:43

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