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caoni

银虫 (小有名气)

[求助] PDMS 翻模时模板为什么要硅烷化处理

各位大侠,谁能给我详述一下利用硅片或者PDMS做模板制作PDMS时,为什么要对模板先等离子体处理,再硅烷化处理?原理是什么,或者推荐个文章也行,谢谢了~~
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geejee

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 巍巍sol at 2012-04-16 09:42:43:
请问你用的氟化硅烷试剂是什么?

CAS:         78560-45-9

我们用这个

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

9楼2012-05-23 17:24:15
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geejee

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 巍巍sol at 2012-05-25 09:05:08
那你们也是类似以下的氟化方法吗?
“模版放到真空保干器里,旁边氟化硅烷试剂滴一个ep管,
抽真空1-10min 看你实际操作情况。
这瓶可以重复实用n次。”
你说的78560-45-9我也用过,不过是在甲苯溶液或者是四氯 ...

一个干燥器滴入 20 uL,抽真空(水泵好像到0.09,导数第二格),然后放过夜。
有毒,通风橱里操作,干燥器专用就好了。硅烷化后的表面毒性就无所谓了。
11楼2012-05-25 17:54:07
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普通回帖

frunze

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
mwyuer: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-15 19:56:29
翻模时候 要氟硅烷化模版表面,降低表面能。
否则模版和PDMS沾在一起,撕下来有破损或碎屑。
面朝大海,心暖花开。
2楼2012-04-15 10:06:19
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巍巍sol

金虫 (小有名气)


lixiangde: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-15 21:43:00
引用回帖:
2楼: Originally posted by frunze at 2012-04-15 10:06:19:
翻模时候 要氟硅烷化模版表面,降低表面能。
否则模版和PDMS沾在一起,撕下来有破损或碎屑。

如何氟化?在溶液里反应还是滴一滴氟化溶液让其自然挥发?
3楼2012-04-15 19:58:26
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caoni

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by frunze at 2012-04-15 10:06:19:
翻模时候 要氟硅烷化模版表面,降低表面能。
否则模版和PDMS沾在一起,撕下来有破损或碎屑。

请问氟硅烷化是如何降低表面能的,有什么化学过程参与吗,我物理化学基础不太好,还望不吝赐教~
4楼2012-04-15 23:47:56
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巍巍sol

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
mwyuer: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-16 09:25:53
caoni: 金币+2, 有帮助 2012-04-16 16:33:04
caoni: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-05-14 15:03:27
引用回帖:
4楼: Originally posted by caoni at 2012-04-15 23:47:56:
请问氟硅烷化是如何降低表面能的,有什么化学过程参与吗,我物理化学基础不太好,还望不吝赐教~

我不知道楼上的大牛怎么做的,反正我做过硅片氟化,就是让硅片表面与氟化试剂反应:硅片表面是一层氧化了的二氧化硅,表面还有痕量的水,可以是氟化试剂的头部变成硅羟基,然后硅羟基与硅羟基反应,相当于二氧化硅交联,形成共价键。表面即形成单分子层的氟化层,氟化层表面能肯定低了。
5楼2012-04-16 08:15:23
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巍巍sol

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


markar: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-16 09:04:24
还有你说的等离子体处理,就是为了使表面增加更多的雨氟化试剂反应的基团,好与氟化试剂形成共价键
6楼2012-04-16 08:17:07
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frunze

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
markar: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-16 11:24:34
caoni: 金币+1, 有帮助 2012-04-16 16:33:31
氟化我只做过最基本的,
模版放到真空保干器里,旁边氟化硅烷试剂滴一个ep管,
抽真空1-10min 看你实际操作情况。
这瓶可以重复实用n次。

氟化物接触角高,表面能低,我没学过物化。。。
面朝大海,心暖花开。
7楼2012-04-16 09:31:57
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巍巍sol

金虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by frunze at 2012-04-16 09:31:57:
氟化我只做过最基本的,
模版放到真空保干器里,旁边氟化硅烷试剂滴一个ep管,
抽真空1-10min 看你实际操作情况。
这瓶可以重复实用n次。

氟化物接触角高,表面能低,我没学过物化。。。

请问你用的氟化硅烷试剂是什么?
8楼2012-04-16 09:42:43
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巍巍sol

金虫 (小有名气)


送鲜花一朵
mwyuer: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-05-25 09:07:19
引用回帖:
9楼: Originally posted by geejee at 2012-05-23 17:24:15:
CAS:         78560-45-9

我们用这个

那你们也是类似以下的氟化方法吗?
“模版放到真空保干器里,旁边氟化硅烷试剂滴一个ep管,
抽真空1-10min 看你实际操作情况。
这瓶可以重复实用n次。”
你说的78560-45-9我也用过,不过是在甲苯溶液或者是四氯化碳溶液中用的,我觉得这两种溶剂毒性都挺大的,所以我不想用溶剂,请问你的孵化方式是怎样的?
10楼2012-05-25 09:05:08
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