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caoni

银虫 (小有名气)

[求助] PDMS 翻模时模板为什么要硅烷化处理

各位大侠,谁能给我详述一下利用硅片或者PDMS做模板制作PDMS时,为什么要对模板先等离子体处理,再硅烷化处理?原理是什么,或者推荐个文章也行,谢谢了~~
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caoni

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by frunze at 2012-04-15 10:06:19:
翻模时候 要氟硅烷化模版表面,降低表面能。
否则模版和PDMS沾在一起,撕下来有破损或碎屑。

请问氟硅烷化是如何降低表面能的,有什么化学过程参与吗,我物理化学基础不太好,还望不吝赐教~
4楼2012-04-15 23:47:56
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frunze

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
mwyuer: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-15 19:56:29
翻模时候 要氟硅烷化模版表面,降低表面能。
否则模版和PDMS沾在一起,撕下来有破损或碎屑。
面朝大海,心暖花开。
2楼2012-04-15 10:06:19
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巍巍sol

金虫 (小有名气)


lixiangde: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-15 21:43:00
引用回帖:
2楼: Originally posted by frunze at 2012-04-15 10:06:19:
翻模时候 要氟硅烷化模版表面,降低表面能。
否则模版和PDMS沾在一起,撕下来有破损或碎屑。

如何氟化?在溶液里反应还是滴一滴氟化溶液让其自然挥发?
3楼2012-04-15 19:58:26
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巍巍sol

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
mwyuer: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-16 09:25:53
caoni: 金币+2, 有帮助 2012-04-16 16:33:04
caoni: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-05-14 15:03:27
引用回帖:
4楼: Originally posted by caoni at 2012-04-15 23:47:56:
请问氟硅烷化是如何降低表面能的,有什么化学过程参与吗,我物理化学基础不太好,还望不吝赐教~

我不知道楼上的大牛怎么做的,反正我做过硅片氟化,就是让硅片表面与氟化试剂反应:硅片表面是一层氧化了的二氧化硅,表面还有痕量的水,可以是氟化试剂的头部变成硅羟基,然后硅羟基与硅羟基反应,相当于二氧化硅交联,形成共价键。表面即形成单分子层的氟化层,氟化层表面能肯定低了。
5楼2012-04-16 08:15:23
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