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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何给 PDMS 硅模具 进行硅烷化处理，以便更好脱模
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liuyaxin

金虫 (正式写手)

[求助] 如何给 PDMS 硅模具 进行硅烷化处理，以便更好脱模

位大侠前辈好，
在制作PDMS模具的时候，听说专业的做法是将模具硅烷化处理。这样pdms更容易脱模，特别是PDMS比较薄的时候。

想请教各位虫友，
硅烷化处理具体步骤和使用的试剂是什么啊？进行这个处理对实验室设备要求高吗？

到哪里可以找到相关的资料呢？谢谢！

恳请各位前辈帮忙指教啊，谢谢！！
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感谢小木虫
1楼2011-05-22 14:41:11
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

jabbawocky

铁虫 (小有名气)
★ ★
金光闪闪2010(金币+2): 2011-08-03 19:45:00
引用回帖:
Originally posted by liuyaxin at 2011-05-23 08:51:27:
谢谢！！十万分得感谢！！

我是将PDMS与 硅制作的模具  脱模。   PDMS的厚度是100微米。

请问可以接下来吗？


谢谢啊！！！！

给si模板做疏水处理，氟硅烷溶液泡2个小时以上，烘箱150度烘干。溶液配比网上查。

PDMS浇注的时候有些要注意，固化温度低些，固化时间长些，可以使PDMS韧性更好些。比如70度固化100分钟，比90度固化40分钟要好脱模。

脱模的时候，把pdms翘起一个小角，然后再酒精里超声振荡，可能会有帮助。

再一个就是看什么结构，微米结构，深宽比不是很大的情况下，100微米的pdms膜应该可以直接撕下来。

如果是纳米柱就比较困难了，得给PDMS加电压，利用其电致伸缩性。这个我没做过
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17楼2011-07-24 15:31:17
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liuyaxin

金虫 (正式写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by jabbawocky at 2011-07-31 00:10:35:
撕下来一点儿以后，用酒精泡泡再撕，应该有点儿用的。毕竟100u有点儿薄。但是
Harvard的G.M.Whitesides可以做10-20微米的PDMS薄膜，要不你跟他邮寄问问。

谢谢！

刚才酒精超声洗洗后，效果明显。完整撕下来90%。最后一点不小心撕掉了。
终于有点希望了，大家鼓励我啊
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感谢小木虫
25楼2011-07-31 15:34:57
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liuzhun168

木虫 (正式写手)

悟空
★
yingli09(金币+1): 呵呵，谢谢！ 2011-05-25 15:25:29
引用回帖:
Originally posted by liuyaxin at 2011-05-22 15:41:11:
位大侠前辈好，
在制作PDMS模具的时候，听说专业的做法是将模具硅烷化处理。这样pdms更容易脱模，特别是PDMS比较薄的时候。

想请教各位虫友，
硅烷化处理具体步骤和使用的试剂是什么啊？进行这个处理对实验室 ...

怎么又奖给我金币，我的金币已够多了，留着以后自己求助吧，以后我都不敢回你贴了。既然受人奖赏，我再给你一篇希望对你有点用，要是下不了告诉我，我发到你邮箱：http://bmf.aip.org/resource/1/biomgb/v4/i3/p032206_s1
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物质与能量的统一
8楼2011-05-25 13:08:34
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dydydydydy

银虫 (小有名气)
★
xjajx(金币+1): 鼓励有价值回复 2011-08-03 18:24:31
是种液体，跟矿物油似的，名字忘了。不进行脱膜处理，有的好揭，有的不好揭，碰运气，一般好揭，或者用一些其他的硅烷化试剂。
处理过程很简单，加些溶液泡在表面，十几分钟到个把小时都可以，然后用酒精啥的洗干净，就可以用，或者放110度烘一个小时。
忘了具体的名字，说了半天，说了也白说。
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10楼2011-05-25 23:10:37
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liuyaxin

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by dydydydydy at 2011-05-25 23:10:37:
是种液体，跟矿物油似的，名字忘了。不进行脱膜处理，有的好揭，有的不好揭，碰运气，一般好揭，或者用一些其他的硅烷化试剂。
处理过程很简单，加些溶液泡在表面，十几分钟到个把小时都可以，然后用酒精啥的洗干 ...

谢谢你啊。
其实你的答案最实用了，要是想起来这个试剂的名字，告诉我啊，谢谢你
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感谢小木虫
11楼2011-05-27 16:13:38
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liuyaxin

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by jabbawocky at 2011-07-24 15:31:17:
给si模板做疏水处理，氟硅烷溶液泡2个小时以上，烘箱150度烘干。溶液配比网上查。

PDMS浇注的时候有些要注意，固化温度低些，固化时间长些，可以使PDMS韧性更好些。比如70度固化100分钟，比90度固化40分钟要 ...

感谢大侠，我回去再试试。
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感谢小木虫
21楼2011-07-30 12:01:54
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张济1810

木虫 (小有名气)
引用回帖:
31楼: Originally posted by 1046374997 at 2015-03-12 14:49:53
过了好久了，不知道能不能回复。您是在哪里委托加工的呢，我们现在也想找人加工，大概价格又是多少啊~...

你要找到加工的地方也告诉我一声
谢谢
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32楼2015-03-17 19:55:07
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普通回帖

liuzhun168

木虫 (正式写手)

悟空

【答案】应助回帖

★
xjajx(金币+1): 鼓励有价值回复 2011-05-22 17:37:44
liuyaxin(金币+3): 谢谢！文章很好有帮助 2011-05-23 08:54:21
liuyaxin(金币+2): 2011-05-23 09:18:16
liuyaxin(金币+5): 2011-05-25 10:01:39
引用回帖:
Originally posted by liuyaxin at 2011-05-22 15:41:11:
位大侠前辈好，
在制作PDMS模具的时候，听说专业的做法是将模具硅烷化处理。这样pdms更容易脱模，特别是PDMS比较薄的时候。

想请教各位虫友，
硅烷化处理具体步骤和使用的试剂是什么啊？进行这个处理对实验室 ...

先用氧气plasma处理，再加silylchoride vapor反应
文献：A那个我。chem.int.ed.1998.37.550
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物质与能量的统一
2楼2011-05-22 16:07:03
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liuzhun168

木虫 (正式写手)

悟空
★ ★
金光闪闪2010(金币+2): 谢谢分享 2011-08-03 19:44:34
http://gmwgroup.harvard.edu/pubs/pdf/591.pdf
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物质与能量的统一
3楼2011-05-22 16:13:25
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wenxin8451

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
liuyaxin(金币+5): 谢谢！！衷心得感谢，以后多多交流指教啊！ 2011-05-23 08:52:34
yingli09(金币+1): 谢谢参与！ 2011-05-25 15:21:50
引用回帖:
Originally posted by liuyaxin at 2011-05-22 14:41:11:
位大侠前辈好，
在制作PDMS模具的时候，听说专业的做法是将模具硅烷化处理。这样pdms更容易脱模，特别是PDMS比较薄的时候。

想请教各位虫友，
硅烷化处理具体步骤和使用的试剂是什么啊？进行这个处理对实验室 ...

脱模，你需要详细的描述下。

1.如果是与PDMS相对的硬模板来说,一般很容易揭开,即使PDMS很薄.因为固态的PDMS表面能很低 22mJ/m2左右,而且是疏水性.故轻轻就可以接下来. 所以我觉得你说的脱模可能是与别的基板的剥离?

2.而楼上提到的等离子气体处理PDMS,反而是让PDMS有原有的疏水性,改为亲水性,这样会使PDMS与玻璃等基底永久的粘在一起.

3.当然PDMS在学术上最先应用的G.M.Whitesides,所以你多看下 whitesides 和夏幼南的 综述会有帮助.

4.目前所用PDMS 多购自 dow corning 公司的sylgad 184产品,你可以自己查下相关性质.
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4楼2011-05-22 22:36:20
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liuyaxin

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by wenxin8451 at 2011-05-22 22:36:20:
脱模，你需要详细的描述下。

1.如果是与PDMS相对的硬模板来说,一般很容易揭开,即使PDMS很薄.因为固态的PDMS表面能很低 22mJ/m2左右,而且是疏水性.故轻轻就可以接下来. 所以我觉得你说的脱模可能是与别的基板 ...

谢谢！！十万分得感谢！！

我是将PDMS与 硅制作的模具  脱模。   PDMS的厚度是100微米。

请问可以接下来吗？


谢谢啊！！！！
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感谢小木虫
5楼2011-05-23 08:51:27
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liuyaxin

金虫 (正式写手)
补充一下啊，我用的PDMS是 道康宁 公司的 sylgad 184 产品。

模具是硅制作的，

PDMS厚度是100微米。整个结构的大小为10x8mm。

请问这种厚度的PDMS做好后不经过处理可以撕下来吗？

谢谢啊
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感谢小木虫
6楼2011-05-23 09:02:47
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liuyaxin

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by liuzhun168 at 2011-05-22 16:13:25:
http://gmwgroup.harvard.edu/pubs/pdf/591.pdf

呵呵，不好意思。本想把5分金币分到2个帖子中，只可惜不熟悉，不知道不是应助回帖不能给金币。

在这里衷心的谢谢你！！
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感谢小木虫
7楼2011-05-23 09:17:36
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by liuyaxin at 2011-05-23 09:02:47:
补充一下啊，我用的PDMS是 道康宁 公司的 sylgad 184 产品。

模具是硅制作的，

PDMS厚度是100微米。整个结构的大小为10x8mm。

请问这种厚度的PDMS做好后不经过处理可以撕下来吗？

谢谢啊

你试一下不就都知道了
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没有做不到只有想不到
9楼2011-05-25 17:08:26
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