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caoni

银虫 (小有名气)

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[求助] PDMS 翻模时模板为什么要硅烷化处理

各位大侠，谁能给我详述一下利用硅片或者PDMS做模板制作PDMS时，为什么要对模板先等离子体处理，再硅烷化处理？原理是什么，或者推荐个文章也行，谢谢了~~

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1楼 2012-04-15 00:29:51

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geejee

至尊木虫 (正式写手)

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引用回帖:

10楼: Originally posted by 巍巍sol at 2012-05-25 09:05:08
那你们也是类似以下的氟化方法吗？
“模版放到真空保干器里，旁边氟化硅烷试剂滴一个ep管，
抽真空1-10min 看你实际操作情况。
这瓶可以重复实用n次。”
你说的78560-45-9我也用过，不过是在甲苯溶液或者是四氯 ...

一个干燥器滴入 20 uL，抽真空（水泵好像到0.09，导数第二格），然后放过夜。
有毒，通风橱里操作，干燥器专用就好了。硅烷化后的表面毒性就无所谓了。