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caoni

银虫 (小有名气)

[求助] PDMS 翻模时模板为什么要硅烷化处理

各位大侠,谁能给我详述一下利用硅片或者PDMS做模板制作PDMS时,为什么要对模板先等离子体处理,再硅烷化处理?原理是什么,或者推荐个文章也行,谢谢了~~
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geejee

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 巍巍sol at 2012-05-25 09:05:08
那你们也是类似以下的氟化方法吗?
“模版放到真空保干器里,旁边氟化硅烷试剂滴一个ep管,
抽真空1-10min 看你实际操作情况。
这瓶可以重复实用n次。”
你说的78560-45-9我也用过,不过是在甲苯溶液或者是四氯 ...

一个干燥器滴入 20 uL,抽真空(水泵好像到0.09,导数第二格),然后放过夜。
有毒,通风橱里操作,干燥器专用就好了。硅烷化后的表面毒性就无所谓了。
11楼2012-05-25 17:54:07
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frunze

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
mwyuer: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-15 19:56:29
翻模时候 要氟硅烷化模版表面,降低表面能。
否则模版和PDMS沾在一起,撕下来有破损或碎屑。
面朝大海,心暖花开。
2楼2012-04-15 10:06:19
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巍巍sol

金虫 (小有名气)


lixiangde: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-04-15 21:43:00
引用回帖:
2楼: Originally posted by frunze at 2012-04-15 10:06:19:
翻模时候 要氟硅烷化模版表面,降低表面能。
否则模版和PDMS沾在一起,撕下来有破损或碎屑。

如何氟化?在溶液里反应还是滴一滴氟化溶液让其自然挥发?
3楼2012-04-15 19:58:26
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caoni

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by frunze at 2012-04-15 10:06:19:
翻模时候 要氟硅烷化模版表面,降低表面能。
否则模版和PDMS沾在一起,撕下来有破损或碎屑。

请问氟硅烷化是如何降低表面能的,有什么化学过程参与吗,我物理化学基础不太好,还望不吝赐教~
4楼2012-04-15 23:47:56
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