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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体温度为多少
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spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
wbcui: 金币+1, 多谢参与 2012-04-16 13:21:31
与冷却条件有关，更与溅射靶材功率有关，基体偏压大小有关，我的实验条件下测量可达280度左右。
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与君共学共进
11楼2012-04-14 03:17:31
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by spyan581 at 2012-04-14 03:17:31:
与冷却条件有关，更与溅射靶材功率有关，基体偏压大小有关，我的实验条件下测量可达280度左右。

是说在不进行外部加热的情况下吗
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做学术是一件严谨的事
12楼2012-04-16 09:16:41
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by lijielin at 2012-04-13 21:11:59:
不好意思，我没有这方面的公式
1.基材和炉体都在升温，A.如果基材有在做公转自转的话温升都差不多，但基材过靶面会有较高的瞬间温度, B.如果停在靶面不懂，那基材的温升要比炉体温升快很多！！
2.大约500W能升 ...

哦，设备上的温控仪与基体隔着很远呢
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做学术是一件严谨的事
13楼2012-04-16 09:18:07
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macaibin

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽
14楼2013-01-19 14:50:08
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夏南

金虫 (正式写手)

深度强迫症患者
同求，帮顶！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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假装文艺青年的科技工作者。
15楼2013-01-20 21:48:27
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hfutjzy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

升温会有一点，但是不会太明显，如果不是真空的话，应噶都感觉不到升温的。溅射撞击的是靶材，不是基体吧，貌似靶材是落到基材上的。仅供参考，印象不深了。
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精益求精，不断进取
16楼2013-01-21 08:19:25
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chengboo

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by spyan581 at 2012-04-14 03:17:31
与冷却条件有关，更与溅射靶材功率有关，基体偏压大小有关，我的实验条件下测量可达280度左右。

请问你是怎样测量溅射时靶材的温度的啊？
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老干部
17楼2013-05-18 10:51:55
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spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月
引用回帖:
17楼: Originally posted by chengboo at 2013-05-18 10:51:55
请问你是怎样测量溅射时靶材的温度的啊？...

双金属片位移量
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与君共学共进
18楼2013-05-18 19:13:36
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chengboo

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
18楼: Originally posted by spyan581 at 2013-05-18 19:13:36
双金属片位移量...

额，能具体讲一下原理，或能发一下有关的文献吗？谢谢。
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老干部
19楼2013-05-20 18:47:25
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xingxingac

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

跟你靶的磁场强度有关系，还跟你基材离靶面的距离有关系，不确定因素太多，最好放个测温探头在基材上测一下
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20楼2014-11-29 15:31:04
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