应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体温度为多少
52/1返回列表
查看: 3224  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

[求助] 进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体温度为多少 已有1人参与

进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体会受到离子撞击，应该会升温，想知道能够达到多少度？
回复此楼

» 猜你喜欢
做学术是一件严谨的事
1楼 2012-04-12 16:00:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chengboo

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
18楼: Originally posted by spyan581 at 2013-05-18 19:13:36
双金属片位移量...

额，能具体讲一下原理，或能发一下有关的文献吗？谢谢。
赞一下 回复此楼
老干部
19楼2013-05-20 18:47:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个看你溅射多长时间了

我觉得：
使用DC的话，产生热量比较少，溅射5min的话，升温不会超过10oC
但是要是使用RF的话，产生热量比较多，同样时间，会升温10oC以上
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2012-04-12 16:44:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wzcrazy

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2012-04-12 20:03:55
葵花点穴手h: 金币+2 2012-04-12 20:58:42
这跟功率和溅射时间都有关系 如果功率比较大的话 升到100多还是很容易的
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2012-04-12 17:17:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

葵花点穴手h

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wzcrazy at 2012-04-12 17:17:57:
这跟功率和溅射时间都有关系 如果功率比较大的话 升到100多还是很容易的

那电弧离子镀呢，是不是也会升温
赞一下 回复此楼
做学术是一件严谨的事
4楼2012-04-12 18:48:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭