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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 701.1
散金: 670
帖子: 178
在线: 87小时
虫号: 1256536
注册: 2011-04-06
性别: GG
专业: 零件加工制造

[求助] 进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体温度为多少已有1人参与

进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体会受到离子撞击，应该会升温，想知道能够达到多少度？

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是否可以在基底上用磁控溅射Cu、Zn、Al然后加热得到晶化的合金结构？已经有6人回复

做学术是一件严谨的事

1楼2012-04-12 16:00:31

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xingxingac

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1032.3
帖子: 62
在线: 115.5小时
虫号: 436958
注册: 2007-08-26
专业: 金属材料表面科学与工程

【答案】应助回帖

跟你靶的磁场强度有关系，还跟你基材离靶面的距离有关系，不确定因素太多，最好放个测温探头在基材上测一下

20楼2014-11-29 15:31:04

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