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单晶硅晶向为〈100〉的硅片表面抛光后为什么呈圆形？
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 为什么我们CZ法生产的晶向为〈100〉的硅片表面抛光后呈圆形？〈100〉硅片表面抛光不是应该呈方形的吗! |
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