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zf72125

铜虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅晶向为〈100〉的硅片表面抛光后为什么呈圆形?


为什么我们CZ法生产的晶向为〈100〉的硅片表面抛光后呈圆形?〈100〉硅片表面抛光不是应该呈方形的吗!
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lsllbei

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用什么腐蚀的 腐蚀了多久?
掺杂了什么东西?浓度?
潜心修行,一举成名!
9楼2012-04-13 10:48:24
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
楼主的Si片貌似是(111)啊,也就是基底是正方形
另:楼主照片处理了?
http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-03-30 16:32:45
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zf72125

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-03-30 16:32:45:
楼主的Si片貌似是(111)啊,也就是基底是正方形
另:楼主照片处理了?

我们拉制的硅棒是<100>晶向,有四条棱啊
3楼2012-03-30 17:31:41
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by zf72125 at 2012-03-30 17:31:41:
我们拉制的硅棒是<100>晶向,有四条棱啊

哦 对100也是四棱,那就对了啊
http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
4楼2012-03-30 18:41:13
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