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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 单晶硅晶向为〈100〉的硅片表面抛光后为什么呈圆形？
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zf72125

铜虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅晶向为〈100〉的硅片表面抛光后为什么呈圆形？


为什么我们CZ法生产的晶向为〈100〉的硅片表面抛光后呈圆形？〈100〉硅片表面抛光不是应该呈方形的吗!
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1楼 2012-03-30 15:56:01
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fccbravais

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这是腐蚀后的形貌？
那些黑点看起来像是位错。可以考虑用针对微缺陷的腐蚀液进行腐蚀，分析下硅片里面缺陷的情况。
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8楼2012-04-08 04:47:08
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主的Si片貌似是（111）啊，也就是基底是正方形
另：楼主照片处理了？
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-03-30 16:32:45
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zf72125

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-03-30 16:32:45:
楼主的Si片貌似是（111）啊，也就是基底是正方形
另：楼主照片处理了？

我们拉制的硅棒是<100>晶向，有四条棱啊
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3楼2012-03-30 17:31:41
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by zf72125 at 2012-03-30 17:31:41:
我们拉制的硅棒是<100>晶向，有四条棱啊

哦 对100也是四棱，那就对了啊
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
4楼2012-03-30 18:41:13
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