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qiuzc

银虫 (小有名气)

[求助] 溅射气体不纯

磁控溅射时如果溅射气体不纯会有什么后果?
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cjw796

金虫 (小有名气)

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qiuzc: 金币+5 2012-05-15 03:59:46
杂质气体参与反应,会有其他杂质相出现
2楼2012-03-24 17:31:34
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

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qiuzc: 金币+5 2012-05-15 03:59:54
溅射气体不纯,如果你能够发生溅射,即基地上确实得到沉积物了,那你得到的薄膜也不就会跟着不纯。如果溅射都不能发生,那说明杂质气体跟靶材发生反应导致靶中毒的发生。
趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
3楼2012-03-26 06:22:57
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