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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助：纳米刻蚀加工
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kevin78

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2012-03-20 14:05:18
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monmoon217

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不知道你找到了没有。可以联系一下那个光舵微纳公司，或者是纳腾，不过比较推荐前者。
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7楼2012-10-01 21:56:55
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foxs2

木虫 (文坛精英)
关键图形是立体的，不是常见的二维图形。这对电子束直写、激光直写、离子束直写来说，都是很难做到的。建议更换方案，换成二维结构吧。
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2楼2012-03-20 14:50:24
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2012-09-16 18:50:59
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zhaoyuan0426

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

飞秒激光双光子聚合加工，利用光刻胶可以做任何参数的线阵列，点阵列，任何结构的三维图形，发生聚合反应的就是光刻胶。
http://wenku.baidu.com/view/2153eb6f1eb91a37f1115c10.html
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4楼2012-09-16 21:50:41
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