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半导体薄膜制备及加工技术实验室
磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO;IBE、RIE、WE刻蚀加工
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提供IBE、RIE刻蚀服务,可刻蚀各种金属、非金属材料。IBE深度一般不大于1000nm,RIE深度不大于3000nm。
赵工
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