磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO;IBE、RIE、WE刻蚀加工
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71楼2012-11-09 00:40:23
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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

RIE=反应离子刻蚀?
72楼2012-11-30 16:46:00
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