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huibenben

金虫 (小有名气)

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[求助] 用PECVD和LPCVD能生长的氮化硅膜厚范围

用PECVD和LPCVD能生长的氮化硅膜厚范围

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khome1987

1楼 2012-03-12 19:57:08

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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

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专业: 微/纳机械系统

在氮化硅生长方面，LPCVD与PECVD有何区别，如在薄膜质量方面来讲。为何在湿法刻蚀中，用作保护层的氮化硅都用LPCVD生长，而不用PECVD，用PECVD生长的氮化铝能不能被用来做保护层？

^V^

5楼2012-06-06 14:14:52

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