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huyifeng

铁虫 (初入文坛)

[求助] 半导体薄膜上下电极怎么做的啊

各位学友,有没有谁做过在磁控溅射的薄膜上下表面做成上下电极的啊。我的做法是首先在Si片上镀一层金,然后盖住一角作为底电极的引出端,再镀100nm左右的半导体膜,然后再盖上掩膜板镀金作为上电极,可是最后一测上下电极总是导通的,不知怎么回事,谁有更好的办法啊
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sz_kebaoyuan

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
底电极面积做小一点,半导体层要大于底电极。
2楼2012-03-14 01:32:16
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evilangel

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

或许你的材料导电能力太强了,还有上电极别太大
3楼2012-05-24 15:51:09
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