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半导体薄膜上下电极怎么做的啊
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| 各位学友,有没有谁做过在磁控溅射的薄膜上下表面做成上下电极的啊。我的做法是首先在Si片上镀一层金,然后盖住一角作为底电极的引出端,再镀100nm左右的半导体膜,然后再盖上掩膜板镀金作为上电极,可是最后一测上下电极总是导通的,不知怎么回事,谁有更好的办法啊 |
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sz_kebaoyuan
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