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yy19881123新虫 (初入文坛)
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[求助]
PZT薄膜的退火问题
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| 最近刚接触PZT薄膜的制备，想请教一下溶胶-凝胶法制备PZT薄膜退火时是先把样品放进炉中升到预定温度还是等炉升到预定温度后再把样品放进去？比如650℃退火5min，是把样品放进炉内升到650℃保温5min还是等炉升到650℃时再把样品放进去5min后取出来？ |
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yy19881123
新虫 (初入文坛)
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送鲜花一朵 
3楼2012-02-24 23:00:28
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diamondfire
木虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
| 溶胶凝胶法，建议你先在400度以下保温片刻，然后迅速升温至650度，其间注意要在氧气气氛中完成。这既可以避免产生烧绿石相又可以保证薄膜的致密性，还可以尽可能抑制PbO的挥发。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
4楼2012-02-24 23:28:49
stormor
铁杆木虫 (初入文坛)
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- 注册: 2011-04-28
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2012-02-25 00:53:00
