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yy19881123

新虫 (初入文坛)

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[求助] PZT薄膜的退火问题

最近刚接触PZT薄膜的制备，想请教一下溶胶-凝胶法制备PZT薄膜退火时是先把样品放进炉中升到预定温度还是等炉升到预定温度后再把样品放进去？比如650℃退火5min，是把样品放进炉内升到650℃保温5min还是等炉升到650℃时再把样品放进去5min后取出来？

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1楼2012-02-24 19:28:30

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stormor

铁杆木虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

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yy19881123(金币+1): ★有帮助 2012-02-25 09:17:34

同意上楼的做法，现在450度保温几分钟，再放到650度保温，可以避免薄膜开裂和减少内在应力

5楼2012-02-25 00:53:00

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