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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PZT薄膜的退火问题
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yy19881123

新虫 (初入文坛)

[求助] PZT薄膜的退火问题

最近刚接触PZT薄膜的制备，想请教一下溶胶-凝胶法制备PZT薄膜退火时是先把样品放进炉中升到预定温度还是等炉升到预定温度后再把样品放进去？比如650℃退火5min，是把样品放进炉内升到650℃保温5min还是等炉升到650℃时再把样品放进去5min后取出来？
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1楼 2012-02-24 19:28:30
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mucxiao

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
先升温到650℃，然后再把样品放进去，之前我们就是这个退火的
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yy19881123
没有个性，何来签名
2楼2012-02-24 20:57:43
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yy19881123

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by mucxiao at 2012-02-24 20:57:43:
先升温到650℃，然后再把样品放进去，之前我们就是这个退火的

哦  我也是这样想的 不过看有些文献有讨论退火升温速率对薄膜的影响 就不知道到底该怎样 如果退火时间更短 升温后再放进去 会不会来不及晶化啊
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3楼2012-02-24 23:00:28
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diamondfire

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
溶胶凝胶法，建议你先在400度以下保温片刻，然后迅速升温至650度，其间注意要在氧气气氛中完成。这既可以避免产生烧绿石相又可以保证薄膜的致密性，还可以尽可能抑制PbO的挥发。
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yy19881123
再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
4楼2012-02-24 23:28:49
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stormor

铁杆木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
yy19881123(金币+1): ★有帮助 2012-02-25 09:17:34
同意上楼的做法，现在450度保温几分钟，再放到650度保温，可以避免薄膜开裂和减少内在应力
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5楼2012-02-25 00:53:00
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yy19881123

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by diamondfire at 2012-02-24 23:28:49:
溶胶凝胶法，建议你先在400度以下保温片刻，然后迅速升温至650度，其间注意要在氧气气氛中完成。这既可以避免产生烧绿石相又可以保证薄膜的致密性，还可以尽可能抑制PbO的挥发。

意思就是把样品放到炉内升温吗？
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6楼2012-02-25 09:19:08
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diamondfire

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

yy19881123(金币+2): ★★★很有帮助 2012-02-26 14:48:44
引用回帖:
6楼: Originally posted by yy19881123 at 2012-02-25 09:19:08:
意思就是把样品放到炉内升温吗？

是的。
注意调整升温曲线，200度保温（除水分）-350度保温(除去有机物）-迅速升到650度（结晶）。
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再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
7楼2012-02-25 22:13:05
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生
引用回帖:
2楼: Originally posted by mucxiao at 2012-02-24 20:57:43
先升温到650℃，然后再把样品放进去，之前我们就是这个退火的

这是用的什么炉子呢？

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学海无涯，回头是岸。
8楼2016-07-23 23:51:00
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