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求湿法刻蚀硅洞的文献
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匿名
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(正式写手)
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1楼
2012-02-20 09:40:19
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木虫
(著名写手)
人民大会堂首席清洁工
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专业: 微/纳机械系统
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
之前看过几篇,都没有保存。纳米量级是可以实现的,百纳米?忘记了。
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我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
4楼
2012-04-01 11:01:21
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caodaoshe
铜虫
(初入文坛)
应助: 0
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虫号: 485056
注册: 2007-12-27
专业: 电磁场与电路
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
xjajx(金币+1): 2012-02-28 16:02:31
KOH刻蚀,还有浓度,温度的改变,说不定可以做到。
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2楼
2012-02-27 16:37:31
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yangguang53
金虫
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(小学生)
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在线: 39.3小时
虫号: 1501230
注册: 2011-11-20
性别: GG
专业: 功能与智能高分子
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蚀刻硅片貌似在零下十几度吧?具体要看你怎么做了,想要什么了
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3楼
2012-04-01 09:18:40
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