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果儿的世界

木虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅片清洗

各位大虾,请教下,最近遇到单晶硅片制绒后出现浅纹或者边缘发白,初步判定是清洗不干净,表面有有机物,是什么原因导致有机物残留,咋样解决,谢谢大虾们啦!

表面发白
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己所不欲勿施于人
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泡泡童

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这要看你之前用什么清洗了,如果是含有表面活性剂的清洗可能是清洗残留,多漂洗几次,或者换用其他方法清洗,氢氧化钠+双氧水+水清洗
没有即使没有
2楼2012-12-18 09:21:21
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