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103407

木虫 (正式写手)

[求助] CIGS薄膜太阳能电池共蒸发系统

请教做铜铟镓硒的前辈,我们实验室最近要买一台共蒸发设备做铜铟硒薄膜电池,刚接触这个方面,不怎么了解,请问在购买仪器设备上有什么需要注意的地方吗?厂家给的设备参数什么的看不明白啊,多谢了。
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diamondli99

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
103407(金币+20): ★★★很有帮助 2012-01-08 10:00:14
最好把厂家告诉我,或者你具体什么地方不明白,我调研过此类设备,也亲身与几家供应商就设备规格进行过讨论,希望有限的知识能够帮你。
4楼2012-01-07 08:34:30
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diamondli99

木虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by nanokiller at 2012-01-07 14:10:48:
加热上限:Cu:1400度,In和Ga:1300,Se:400度;
挡板:每个加热枪都要有挡板的;基片台前,也要有一个总挡板;
基片台旋转:需要旋转;
最关键的是真空度:本底真空一定要能抽到10-5帕。
Se加热枪的位置最 ...

楼上的回复的已经很完善了,我也学习了。
有个地方我感觉他强调的不够,就是Se枪的布置位置,一定要注意,避免Se在腔室内的无序扩散。另外最好腔室外壁也采用一定的加热保温措施;
其实还有一点,个人认为比较重要就是他蒸发源的设计,要保证每种物质的量可调和精确控制。
10楼2012-01-08 07:20:57
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