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103407

木虫 (正式写手)

[求助] CIGS薄膜太阳能电池共蒸发系统

请教做铜铟镓硒的前辈,我们实验室最近要买一台共蒸发设备做铜铟硒薄膜电池,刚接触这个方面,不怎么了解,请问在购买仪器设备上有什么需要注意的地方吗?厂家给的设备参数什么的看不明白啊,多谢了。
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lili_123

金虫 (正式写手)

楼主以前做过么?要是一点都不了解的话有点困难,你说的是什么蒸发设备?MOCVD?
2楼2012-01-06 23:23:41
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kukoob

铁杆木虫 (知名作家)

人类导师

感谢参与,应助指数 +1
天也潇潇(应助指数-1): 非应助回帖 2012-01-07 10:29:08
如果不了解!
就选大厂的!
价格高的!
不知不觉
3楼2012-01-07 00:07:11
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diamondli99

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
103407(金币+20): ★★★很有帮助 2012-01-08 10:00:14
最好把厂家告诉我,或者你具体什么地方不明白,我调研过此类设备,也亲身与几家供应商就设备规格进行过讨论,希望有限的知识能够帮你。
4楼2012-01-07 08:34:30
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103407

木虫 (正式写手)

引用回帖:
: Originally posted by diamondli99 at 2012-01-07 08:34:30:
最好把厂家告诉我,或者你具体什么地方不明白,我调研过此类设备,也亲身与几家供应商就设备规格进行过讨论,希望有限的知识能够帮你。

具体的哪个厂家我还真不知道,老师联系的,只让我提出一些想法和意见。我想问问 铜、铟、 镓、硒 加热源的加热上限一般都设定到多少?共蒸发前需不需要挡板, 基片是否需要旋转,以及是否还有其他需要注意的问题?谢谢啦。
5楼2012-01-07 10:11:47
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nanokiller

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
lovibond(金币+1): 鼓励新虫发帖 2012-01-07 16:15:42
103407(金币+20): ★★★★★最佳答案 2012-01-08 09:54:07
加热上限:Cu:1400度,In和Ga:1300,Se:400度;
挡板:每个加热枪都要有挡板的;基片台前,也要有一个总挡板;
基片台旋转:需要旋转;
最关键的是真空度:本底真空一定要能抽到10-5帕。
Se加热枪的位置最好是高于其他Cu,In ,Ga的高度(不在一水平上,不在一同心圆上)。
希望能帮到你。
A little bit more.
6楼2012-01-07 14:10:48
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103407

木虫 (正式写手)

引用回帖:
: Originally posted by nanokiller at 2012-01-07 14:10:48:
加热上限:Cu:1400度,In和Ga:1300,Se:400度;
挡板:每个加热枪都要有挡板的;基片台前,也要有一个总挡板;
基片台旋转:需要旋转;
最关键的是真空度:本底真空一定要能抽到10-5帕。
Se加热枪的位置最 ...

In和Ga需要1300度呢啊,合同上是850度,我跟老师说一下。非常感谢。
7楼2012-01-07 15:31:19
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nanokiller

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

103407(金币+10): ★★★很有帮助 2012-01-08 10:00:57
In和Ga虽然熔点低,但蒸汽压也很低,In需1000-1200度的加热温度,Ga需1150-1250度的加热温度,所以它们的加热上限必须不低于1300度。Se加热250-380度就可以,Se的饱和蒸汽压很高。
A little bit more.
8楼2012-01-07 15:52:39
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nanokiller

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


lovibond(金币+1): 鼓励应助,尽量在同一个回帖完成回复 2012-01-07 16:16:13
另外Cu的加热上限最好调高到1550度,给设备留有余地,以免全负荷运转,降低枪的寿命。
A little bit more.
9楼2012-01-07 15:56:29
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diamondli99

木虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by nanokiller at 2012-01-07 14:10:48:
加热上限:Cu:1400度,In和Ga:1300,Se:400度;
挡板:每个加热枪都要有挡板的;基片台前,也要有一个总挡板;
基片台旋转:需要旋转;
最关键的是真空度:本底真空一定要能抽到10-5帕。
Se加热枪的位置最 ...

楼上的回复的已经很完善了,我也学习了。
有个地方我感觉他强调的不够,就是Se枪的布置位置,一定要注意,避免Se在腔室内的无序扩散。另外最好腔室外壁也采用一定的加热保温措施;
其实还有一点,个人认为比较重要就是他蒸发源的设计,要保证每种物质的量可调和精确控制。
10楼2012-01-08 07:20:57
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