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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)


[交流] 磁控溅射镀膜的颗粒大小

交流一下,大家用磁控溅射镀膜的方法得到的薄膜颗粒一般多大呢?
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xlys-forever

木虫 (著名写手)



佳好_悦缘(金币+1):谢谢参与
看薄膜的厚度了,从几个纳米到几个微米到可能得到。
2楼2012-01-04 16:55:56
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plums_1

金虫 (正式写手)



佳好_悦缘(金币+1):谢谢参与
我镀的是银,分布很致密的,在sem下看不出颗粒大小,退火处理后才能看到颗粒。
3楼2012-01-07 09:43:38
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