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磁控溅射镀膜的颗粒大小
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佳好_悦缘
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[交流]
磁控溅射镀膜的颗粒大小
交流一下,大家用磁控溅射镀膜的方法得到的薄膜颗粒一般多大呢?
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2012-01-03 21:46:07
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xlys-forever
木虫
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佳好_悦缘(金币
+1
):谢谢参与
看薄膜的厚度了,从几个纳米到几个微米到可能得到。
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2楼
2012-01-04 16:55:56
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plums_1
金虫
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帖子: 443
在线: 58.4小时
虫号: 1434976
★
佳好_悦缘(金币
+1
):谢谢参与
我镀的是银,分布很致密的,在sem下看不出颗粒大小,退火处理后才能看到颗粒。
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3楼
2012-01-07 09:43:38
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