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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射镀膜的颗粒大小
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀膜的颗粒大小

交流一下，大家用磁控溅射镀膜的方法得到的薄膜颗粒一般多大呢？
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1楼 2012-01-03 21:46:07
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xlys-forever

木虫 (著名写手)
★
佳好_悦缘(金币+1):谢谢参与
看薄膜的厚度了，从几个纳米到几个微米到可能得到。
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2楼2012-01-04 16:55:56
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plums_1

金虫 (正式写手)
★
佳好_悦缘(金币+1):谢谢参与
我镀的是银，分布很致密的，在sem下看不出颗粒大小，退火处理后才能看到颗粒。
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3楼2012-01-07 09:43:38
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