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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何做出这种微米级条形阵列？
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z_wen

金虫 (小有名气)

[求助] 如何做出这种微米级条形阵列？

请教各位，如何做出这种微米级条形阵列？用光刻方法能行么？有这种掩模版否？

整体效果



1图形



2条纹阵列
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1楼 2011-12-26 09:59:45
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2011-12-26 21:09:49
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z_wen

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-26 21:09:49:
高度与线宽分别是多少？

高度在100um，宽度在25um左右
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3楼2011-12-27 09:05:48
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
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4楼2011-12-27 09:20:00
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tabwol007
5楼2011-12-27 09:38:42
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z_wen

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-27 09:20:00:
如果用金属掩膜，宽度在25um我们能做出，但如果用100um的钢片来做就有难度，如果高度能做到50um就没问题了。

如果用光刻的工艺，你需要了解干膜的情况与曝光机的情况，也就是贴100um厚的干膜能否曝光显影出25u ...

如果把条纹做成截面是等腰三角形，三角形宽度是25um，高度是50um，三角形之间间隔是70um，这样一个样品2乘2厘米左右，只做出条纹阵列，需要多少钱？你如果有意做的话
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6楼2011-12-27 11:29:52
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2011-12-28 07:16:46
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wenjiangshen

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by z_wen at 2011-12-27 11:29:52:
如果把条纹做成截面是等腰三角形，三角形宽度是25um，高度是50um，三角形之间间隔是70um，这样一个样品2乘2厘米左右，只做出条纹阵列，需要多少钱？你如果有意做的话

这截面看上去明明是梯形嘛。。？上底，下底，高，分别多少？
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z_wen
8楼2012-02-16 21:52:24
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
z_wen(金币+5): ★有帮助 2012-02-20 16:01:37
用正光刻胶应该可以做，不过应该有难度
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9楼2012-02-18 19:42:26
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z_wen

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by wenjiangshen at 2012-02-16 21:52:24:
这截面看上去明明是梯形嘛。。？上底，下底，高，分别多少？

?A底10um，下底20um  高70um
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10楼2012-02-20 16:03:29
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