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如何做出这种微米级条形阵列?
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z_wen
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如何做出这种微米级条形阵列?
请教各位,如何做出这种微米级条形阵列?用光刻方法能行么?有这种掩模版否?
整体效果
1图形
2条纹阵列
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1楼
2011-12-26 09:59:45
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kebaoyuan
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2011-12-26 21:09:49
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kebaoyuan
at 2011-12-26 21:09:49:
高度与线宽分别是多少?
高度在100um,宽度在25um左右
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3楼
2011-12-27 09:05:48
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kebaoyuan
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4楼
2011-12-27 09:20:00
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tabwol007
5楼
2011-12-27 09:38:42
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kebaoyuan
at 2011-12-27 09:20:00:
如果用金属掩膜,宽度在25um我们能做出,但如果用100um的钢片来做就有难度,如果高度能做到50um就没问题了。
如果用光刻的工艺,你需要了解干膜的情况与曝光机的情况,也就是贴100um厚的干膜能否曝光显影出25u ...
如果把条纹做成截面是等腰三角形,三角形宽度是25um,高度是50um,三角形之间间隔是70um,这样一个样品2乘2厘米左右,只做出条纹阵列,需要多少钱?你如果有意做的话
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6楼
2011-12-27 11:29:52
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7楼
2011-12-28 07:16:46
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wenjiangshen
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6楼
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z_wen
at 2011-12-27 11:29:52:
如果把条纹做成截面是等腰三角形,三角形宽度是25um,高度是50um,三角形之间间隔是70um,这样一个样品2乘2厘米左右,只做出条纹阵列,需要多少钱?你如果有意做的话
这截面看上去明明是梯形嘛。。?上底,下底,高,分别多少?
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z_wen
8楼
2012-02-16 21:52:24
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ciompman
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有帮助 2012-02-20 16:01:37
用正光刻胶应该可以做,不过应该有难度
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9楼
2012-02-18 19:42:26
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wenjiangshen
at 2012-02-16 21:52:24:
这截面看上去明明是梯形嘛。。?上底,下底,高,分别多少?
?A底10um,下底20um 高70um
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10楼
2012-02-20 16:03:29
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