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z_wen

金虫 (小有名气)

[求助] 如何做出这种微米级条形阵列?

请教各位,如何做出这种微米级条形阵列?用光刻方法能行么?有这种掩模版否?

整体效果



1图形



2条纹阵列
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z_wen

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by wenjiangshen at 2012-02-16 21:52:24:
这截面看上去明明是梯形嘛。。?上底,下底,高,分别多少?

?A底10um,下底20um  高70um
10楼2012-02-20 16:03:29
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

2楼2011-12-26 21:09:49
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z_wen

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-26 21:09:49:
高度与线宽分别是多少?

高度在100um,宽度在25um左右
3楼2011-12-27 09:05:48
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

4楼2011-12-27 09:20:00
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