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z_wen

金虫 (小有名气)

[求助] 如何做出这种微米级条形阵列?

请教各位,如何做出这种微米级条形阵列?用光刻方法能行么?有这种掩模版否?

整体效果



1图形



2条纹阵列
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

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2楼2011-12-26 21:09:49
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z_wen

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-26 21:09:49:
高度与线宽分别是多少?

高度在100um,宽度在25um左右
3楼2011-12-27 09:05:48
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

4楼2011-12-27 09:20:00
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5楼2011-12-27 09:38:42
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z_wen

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-27 09:20:00:
如果用金属掩膜,宽度在25um我们能做出,但如果用100um的钢片来做就有难度,如果高度能做到50um就没问题了。

如果用光刻的工艺,你需要了解干膜的情况与曝光机的情况,也就是贴100um厚的干膜能否曝光显影出25u ...

如果把条纹做成截面是等腰三角形,三角形宽度是25um,高度是50um,三角形之间间隔是70um,这样一个样品2乘2厘米左右,只做出条纹阵列,需要多少钱?你如果有意做的话
6楼2011-12-27 11:29:52
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

7楼2011-12-28 07:16:46
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wenjiangshen

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by z_wen at 2011-12-27 11:29:52:
如果把条纹做成截面是等腰三角形,三角形宽度是25um,高度是50um,三角形之间间隔是70um,这样一个样品2乘2厘米左右,只做出条纹阵列,需要多少钱?你如果有意做的话

这截面看上去明明是梯形嘛。。?上底,下底,高,分别多少?

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

8楼2012-02-16 21:52:24
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
z_wen(金币+5): 有帮助 2012-02-20 16:01:37
用正光刻胶应该可以做,不过应该有难度
9楼2012-02-18 19:42:26
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z_wen

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by wenjiangshen at 2012-02-16 21:52:24:
这截面看上去明明是梯形嘛。。?上底,下底,高,分别多少?

?A底10um,下底20um  高70um
10楼2012-02-20 16:03:29
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