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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何做出这种微米级条形阵列？
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z_wen

金虫 (小有名气)

[求助] 如何做出这种微米级条形阵列？

请教各位，如何做出这种微米级条形阵列？用光刻方法能行么？有这种掩模版否？

整体效果



1图形



2条纹阵列
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1楼 2011-12-26 09:59:45
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
z_wen(金币+5): ★有帮助 2012-02-20 16:01:37
用正光刻胶应该可以做，不过应该有难度
赞一下 回复此楼
9楼2012-02-18 19:42:26
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2011-12-26 21:09:49
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z_wen

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-26 21:09:49:
高度与线宽分别是多少？

高度在100um，宽度在25um左右
赞一下 回复此楼
3楼2011-12-27 09:05:48
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
4楼2011-12-27 09:20:00
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