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z_wen

金虫 (小有名气)

[求助] 如何做出这种微米级条形阵列?

请教各位,如何做出这种微米级条形阵列?用光刻方法能行么?有这种掩模版否?

整体效果



1图形



2条纹阵列
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
z_wen(金币+5): 有帮助 2012-02-20 16:01:37
用正光刻胶应该可以做,不过应该有难度
9楼2012-02-18 19:42:26
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

2楼2011-12-26 21:09:49
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z_wen

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by kebaoyuan at 2011-12-26 21:09:49:
高度与线宽分别是多少?

高度在100um,宽度在25um左右
3楼2011-12-27 09:05:48
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

4楼2011-12-27 09:20:00
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