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camelluxin金虫 (正式写手)
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怎样能只etch SiO2而不etch Ti
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wet etch 只想把二氧化硅etch了，而保留Ti 目前查到的用HF的话，不管什么浓度的，Ti的etch速度都高于SiO2的 我的Ti本来就没SiO2厚啊  |
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2楼2011-12-11 21:33:55
小叶3061
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5楼2011-12-12 17:59:47
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