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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 怎样能只etch SiO2而不etch Ti
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camelluxin

金虫 (正式写手)

[求助] 怎样能只etch SiO2而不etch Ti

wet etch
只想把二氧化硅etch了，而保留Ti
目前查到的用HF的话，不管什么浓度的，Ti的etch速度都高于SiO2的
我的Ti本来就没SiO2厚啊
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1楼 2011-12-11 20:17:27
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xiangmengli

金虫 (正式写手)

微纳米小木虫

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-12-13 18:22:23
If possible, I recommend you try the method of plasma etch using CHF3,which maybe help etch SiO2 instead of Ti.
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梅花香自苦寒来
6楼2011-12-12 20:27:28
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celen

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
殷亚东组很多刻蚀二氧化硅的文章
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2楼2011-12-11 21:33:55
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小叶3061

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不知道刻蚀在什么方面有应用!
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3楼2011-12-11 22:43:28
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xhtangxh

木虫 (著名写手)

有木有虫

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
试试用1M NaOH在水热条件下处理。
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4楼2011-12-12 08:54:54
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