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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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camelluxin

版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

[求助] 怎样能只etch SiO2而不etch Ti

wet etch
只想把二氧化硅etch了,而保留Ti
目前查到的用HF的话,不管什么浓度的,Ti的etch速度都高于SiO2的
我的Ti本来就没SiO2厚啊
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xiejf

新虫

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以尝试一下浓碱加热
麦麦爸爸爱小牛
9楼2011-12-26 08:20:39
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celen

兑换贵宾

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
殷亚东组很多刻蚀二氧化硅的文章
2楼2011-12-11 21:33:55
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小叶3061

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不知道刻蚀在什么方面有应用!
3楼2011-12-11 22:43:28
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xhtangxh

超级版主

有木有虫

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
试试用1M NaOH在水热条件下处理。
4楼2011-12-12 08:54:54
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