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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 怎样能只etch SiO2而不etch Ti
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流刃若水

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

SiO2用干法刻蚀，Ti用湿法刻蚀，控制好时间
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蓝蓝的天空
11楼2013-07-12 10:48:28
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