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怎样能只etch SiO2而不etch Ti
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camelluxin
金虫
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专业: 光学信息获取与处理
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]
怎样能只etch SiO2而不etch Ti
wet etch
只想把二氧化硅etch了,而保留Ti
目前查到的用HF的话,不管什么浓度的,Ti的etch速度都高于SiO2的
我的Ti本来就没SiO2厚啊
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1楼
2011-12-11 20:17:27
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流刃若水
金虫
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注册: 2013-06-06
专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
SiO2用干法刻蚀,Ti用湿法刻蚀,控制好时间
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蓝蓝的天空
11楼
2013-07-12 10:48:28
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celen
木虫
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专业: 其他无机非金属材料
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
殷亚东组很多刻蚀二氧化硅的文章
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2楼
2011-12-11 21:33:55
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小叶3061
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专业: 污染控制化学
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
不知道刻蚀在什么方面有应用!
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3楼
2011-12-11 22:43:28
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xhtangxh
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注册: 2007-08-04
专业: 催化化学
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
试试用1M NaOH在水热条件下处理。
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4楼
2011-12-12 08:54:54
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