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camelluxin金虫 (正式写手)
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[求助]
怎样能只etch SiO2而不etch Ti
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wet etch 只想把二氧化硅etch了，而保留Ti 目前查到的用HF的话，不管什么浓度的，Ti的etch速度都高于SiO2的 我的Ti本来就没SiO2厚啊  |
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11楼2013-07-12 10:48:28
2楼2011-12-11 21:33:55
小叶3061
铁杆木虫 (正式写手)
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- 专业: 污染控制化学
3楼2011-12-11 22:43:28
xhtangxh
木虫 (著名写手)
有木有虫
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- 专业: 催化化学
4楼2011-12-12 08:54:54
