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多晶硅加热
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romance95599
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[交流]
多晶硅加热
请问各位大佬谁知道把多晶硅加热到八百度左右有什么作用?
有木有文献发给我下,多谢!!
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1楼
2011-11-16 12:59:30
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小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
你们料是什么品质的?大的目的是什么?后道工序是什么?
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6楼
2011-11-17 10:39:14
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UGMS
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hhucy(金币+1): 欢迎讨论 2011-11-16 21:13:58
800℃左右硅的导电率急剧增加(这个是道听途说的,没验证过,感觉上是),
或是为了加速氧化为了除杂质,应该要同时通入湿氧。
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2楼
2011-11-16 15:19:11
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romance95599
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Originally posted by
UGMS
at 2011-11-16 15:19:11:
800℃左右硅的导电率急剧增加(这个是道听途说的,没验证过,感觉上是),
或是为了加速氧化为了除杂质,应该要同时通入湿氧。
除杂的温度都很高,导电性急剧增加有什么作用呢?貌似600℃就开始增加了!
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3楼
2011-11-16 20:31:14
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3楼
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romance95599
at 2011-11-16 20:31:14:
除杂的温度都很高,导电性急剧增加有什么作用呢?貌似600℃就开始增加了!
低温氧化是形成SiO2,然后杂质通过扩散进入SiO2,在用酸洗掉SiO2.
导电率增加是为了能进行感应加热。
你硅的品质是什么品质?你试验的目的是什么?
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4楼
2011-11-17 08:25:46
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