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romance95599

银虫 (正式写手)

[交流] 多晶硅加热

请问各位大佬谁知道把多晶硅加热到八百度左右有什么作用？
有木有文献发给我下，多谢！！
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1楼 2011-11-16 12:59:30
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UGMS

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by romance95599 at 2011-11-16 20:31:14:
除杂的温度都很高，导电性急剧增加有什么作用呢？貌似600℃就开始增加了！

低温氧化是形成SiO2，然后杂质通过扩散进入SiO2，在用酸洗掉SiO2.
导电率增加是为了能进行感应加热。
你硅的品质是什么品质？你试验的目的是什么？
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4楼2011-11-17 08:25:46
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UGMS

银虫 (小有名气)
★
hhucy(金币+1): 欢迎讨论 2011-11-16 21:13:58
800℃左右硅的导电率急剧增加（这个是道听途说的，没验证过，感觉上是），
或是为了加速氧化为了除杂质，应该要同时通入湿氧。
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2楼2011-11-16 15:19:11
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romance95599

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by UGMS at 2011-11-16 15:19:11:
800℃左右硅的导电率急剧增加（这个是道听途说的，没验证过，感觉上是），
或是为了加速氧化为了除杂质，应该要同时通入湿氧。

除杂的温度都很高，导电性急剧增加有什么作用呢？貌似600℃就开始增加了！
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3楼2011-11-16 20:31:14
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romance95599

银虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by UGMS at 2011-11-17 08:25:46:
低温氧化是形成SiO2，然后杂质通过扩散进入SiO2，在用酸洗掉SiO2.
导电率增加是为了能进行感应加热。
你硅的品质是什么品质？你试验的目的是什么？

就是不知道试验的目的所以才请教下！
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5楼2011-11-17 10:31:12
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