| 查看: 843 | 回复: 2 | |||
[求助]
求教关于金刚石膜刻蚀的问题
|
|
RT， 采用氧离子束对CVD金刚石膜进行刻蚀之后，在SEM图中发现在晶粒上出现裂纹，这是为什么？（刻蚀时，基底温度为600度） 然后拉曼光谱中出现了一些除了金刚石特征峰之外的波包，图中已标出了对应的波包的大致位置，但不知道对应的是什么，求解释，最好能有相关的资料或者论文。  刻蚀后1000倍SEM图  刻蚀后Raman图，并标出了对应的波包的大致位置 [ 来自科研家族 材料家族 ] [ Last edited by 季岩冰 on 2011-11-8 at 19:05 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？
已经有12人回复
-
2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B?
已经有4人回复
-
应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键
已经有29人回复
-
奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样
已经有9人回复
-
是这周出结果还是下周出结果？
已经有3人回复
-
小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊
已经有9人回复
-
有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验）
已经有4人回复
-
帮忙看看fileCode
已经有13人回复
-
为什么网上很多人说本周 12号出结果
已经有7人回复
-
读博的好处
已经有3人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于铜盐作催化剂的问题
已经有15人回复
- 关于ssr开发问题
已经有15人回复
- 有机薄膜太阳能电池 ITO电极怎么刻蚀好？
已经有26人回复
- 【求助】反应离子刻蚀的问题
已经有6人回复
- AgNO3和HF刻蚀硅纳米线的溶液配置问题
已经有10人回复
- 【求助】10金币求：水玻璃和金刚石在1000度左右的高温会反应吗，可能生成什么东西？
已经有8人回复
- 【求助】关于湿法刻蚀
已经有17人回复
windyswust
木虫 (著名写手)
- 应助: 21 (小学生)
- 金币: 2516.8
- 散金: 577
- 红花: 10
- 帖子: 1083
- 在线: 1954.2小时
- 虫号: 919716
- 注册: 2009-12-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
【答案】应助回帖
★
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2011-11-09 16:33:47
季岩冰(金币+5): 谢谢你的回复！ 2011-11-09 17:01:44
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2011-11-09 16:33:47
季岩冰(金币+5): 谢谢你的回复！ 2011-11-09 17:01:44
| 呵呵 你这个比我的 更奇怪 首先。你制备金刚石的大概的参数。 比如气源，你的金刚石的事超纳米的还是纳米的还是微米的 估计不是微米的 你的 掺杂否？还有 你的1000倍的SEM 看不出来东西吧。氧等离子体一般式用来得到氧终结的，不知道你用氧刻蚀有什么目的，如果你的事纳米金刚石薄膜 里面的SP2相在氧等离子体的影响下很明显。你可以看看D.M. GRUEN关于raman的分析，你的raman G峰飘逸太多了 |
2楼2011-11-09 15:53:15
3楼2011-11-09 17:02:33
