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求教关于金刚石膜刻蚀的问题
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RT， 采用氧离子束对CVD金刚石膜进行刻蚀之后，在SEM图中发现在晶粒上出现裂纹，这是为什么？（刻蚀时，基底温度为600度） 然后拉曼光谱中出现了一些除了金刚石特征峰之外的波包，图中已标出了对应的波包的大致位置，但不知道对应的是什么，求解释，最好能有相关的资料或者论文。  刻蚀后1000倍SEM图  刻蚀后Raman图，并标出了对应的波包的大致位置 [ 来自科研家族 材料家族 ] [ Last edited by 季岩冰 on 2011-11-8 at 19:05 ] |
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windyswust
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【答案】应助回帖
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Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2011-11-09 16:33:47
季岩冰(金币+5): 谢谢你的回复！ 2011-11-09 17:01:44
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2011-11-09 16:33:47
季岩冰(金币+5): 谢谢你的回复！ 2011-11-09 17:01:44
| 呵呵 你这个比我的 更奇怪 首先。你制备金刚石的大概的参数。 比如气源，你的金刚石的事超纳米的还是纳米的还是微米的 估计不是微米的 你的 掺杂否？还有 你的1000倍的SEM 看不出来东西吧。氧等离子体一般式用来得到氧终结的，不知道你用氧刻蚀有什么目的，如果你的事纳米金刚石薄膜 里面的SP2相在氧等离子体的影响下很明显。你可以看看D.M. GRUEN关于raman的分析，你的raman G峰飘逸太多了 |
2楼2011-11-09 15:53:15
3楼2011-11-09 17:02:33