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[交流]
CMOS的CV检测时，硅基片的电阻率
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在测量CMOS的电学性质时，常用的就是CV检测。但是硅基片的电阻率会影响检测结果，使测量值变小。请问大家的测量的时候，硅基片的电阻率是多大呢？ 50欧姆厘米是不是太大了呢？ |
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