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学海无涯t

铁虫 (初入文坛)

[求助] 求助:文献中光刻胶线条的截面SEM图(cross-sectional SEM)那种截面是怎么得到的

如下图,为光刻胶线条的截面SEM图,但是由于我做的光刻胶线条尺寸很小,很难用手工的方法在硅片上的光刻胶线条上准确地切开截面,即使切开,其边缘也是粗糙难看,很难达到下图的效果,请问大家是怎么做的?不甚感激




[ Last edited by 学海无涯t on 2011-10-14 at 10:06 ]
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

可以考虑微细加工的专门切割工具,手工估计切不出很好的截面
我~心~依~旧
7楼2011-10-15 00:18:28
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查看全部 17 个回答

学海无涯t

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by sentaurus at 2011-10-14 21:50:48:
尺寸多小哦?

线条的长度大概100μm,我想要的效果是从线条中间截开,然后看其截面。请问有什么好方法吗
3楼2011-10-14 22:02:43
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chemliang

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

学海无涯t(金币+2): 好的,我试试,谢啦 2011-10-14 22:06:31
实际上掰开试试,多找找区域,说不定有好的。
要是不行就离子枪。
4楼2011-10-14 22:03:44
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sentaurus

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 学海无涯t at 2011-10-14 22:02:43:
线条的长度大概100μm,我想要的效果是从线条中间截开,然后看其截面。请问有什么好方法吗

怎么觉得你表述不清楚呢?

线条包括长和宽,你是要看宽的剖面,长的剖面?
还没想好!
5楼2011-10-14 22:24:15
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