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求助：文献中光刻胶线条的截面SEM图（cross-sectional SEM）那种截面是怎么得到的
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如下图，为光刻胶线条的截面SEM图，但是由于我做的光刻胶线条尺寸很小，很难用手工的方法在硅片上的光刻胶线条上准确地切开截面，即使切开，其边缘也是粗糙难看，很难达到下图的效果，请问大家是怎么做的？不甚感激 [ Last edited by 学海无涯t on 2011-10-14 at 10:06 ] |
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sentaurus
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