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huangjiangta

银虫 (小有名气)


[资源] [图书]半导体薄膜技术与物理 

书 名: 半导体薄膜技术与物理   
作 者:叶志镇 吕斌   
出版社: 浙江大学出版社   
出版时间: 2008年09月   
ISBN: 9787308066174   
开本: 16开   
定价: 36.00 元
编辑本段内容简介
  《半导体薄膜技术与物理》全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术,第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术,第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论,第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。   《半导体薄膜技术与物理》文字叙述上力求做到深入浅出,内容上深度和宽度相结合,理论和实践相结合,以半导体薄膜技术为重点,结合半导体材料和器件的性能介绍,同时还介绍了半导体薄膜技术与物理领域的新概念、新进展、新成果和新技术。《半导体薄膜技术与物理》具有内容翔实、概念清楚、图文并茂的特点。   《半导体薄膜技术与物理》读者对象广泛,可作为高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材,也可作为从事半导体材料、薄膜材料、光电器件等领域的科研人员、工程技术人员的参考书籍。
编辑本段作者简介
  叶志镇,男,1955年5月生于浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位;毕业后留校工作,1990~1992年留学美国麻省理工学院(MIT);1994年晋升为教授;1996年选为博导。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。 1988年进入浙江大学材料系,在硅材料国家重点实验室一直从事半导体薄膜教学科研工作,主要研究方向:Zn0薄膜材料制备、物性调控及光电应用;纳米薄层材料高真空CVD技术研发及应用。现兼任国家自然科学基金委信息科学部评审组成员,全国电子材料专委副主任,全国半导体与集成技术、半导体材料和半导体物理专委委员等。
编辑本段图书目录
第1章 真空技术   
第2章 蒸发技术   
第3章 溅射技术   
第4章 化学气相沉积   
第5章 脉冲激光沉积   
第6章 分子束外延   
第7章 液相外延   
第8章 湿化学制备方法   
第9章 半导体超晶格和量子阱   
第10章 半导体器件制备技术   
参考文献   ……
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)


看看先
40楼2012-06-28 13:31:19
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