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[求助] XRD MoO3薄膜表征

我们做的是利用异丙醇钼水解在Si基底上得到MoO3薄膜，薄膜厚度大概在20nm左右，我们利用XRD主要是想确定一下异丙醇钼有没有水解得到的MoO3。
主要想问一下：1、在做薄膜XRD测试时基底的尺寸要多大合适？
2、薄膜是不是应该用掠入射呢，入射角大概为多少呢？

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1楼 2011-09-03 21:56:14

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